일반뉴스 [세미콘코리아 2018] SK머티리얼즈, 반도체 공정 특수가스 ‘삼불화질소’ 생산량 세계 1위

[첨단 헬로티] SK머티리얼즈(SK materials)가 1월 31일부터 2월 2일까지 코엑스에서 개최되는 '세미콘 코리아 2018'에 참가해 반도체 생산에 들어가는 다양한 소재에 대한 소개 코너들로 전시 부스를 마련하였다. SK머티리얼즈는 종합반도체 소재기업으로, 반도체 공정에 쓰이는 특수가스 중 하나 삼불화질소(NF3)를 자체 개발하였다. 현재 연간 1만600톤 규모 생산 설비를 보유하고 있다. 삼불화질소 생산은 세계 1위, 육불화텅스텐(WF6) 역시 세계 1위, 모노실란(SiH4)은 세계 2위 생산 능력을 갖췄다. 삼불화질소는 반도체, 디스플레이 및 태양전지의 제조공정에서 사용되며, CVD 공정 후 챔버 내부 잔류물을 제거하기 위한 클리닝 용도로 사용된다. 육불화텅스텐은 반도체 제조공정에서 메탈 컨텍트 및 게이트를 형성하는 용도로 사용된다. 모노실란은 또한 반도체, 디스플레이 및 태양전지 제조공정에서 Si 절연막, Si 반사방지막 형성 사용된다. SK머티리얼즈는 이 외에 반도체 미세화 공정에 사용되는 가스 ‘다이실란(Si2H6)’, 질화막(SixNy) 증착 시 사용되는 ‘다이클로로실란(SiH2Cl2) 등을 생산하고 있다.

• 조상록 기자
• 2018-02-02 01:49