일반뉴스 [세미콘코리아 2018] 프리시스, 내열성·오랜 수명 강점인 진공 밸브 선보여

[첨단 헬로티] 프리시스(PRESYS)가 1월 31일부터 2월 2일까지 코엑스에서 개최되는 '세미콘 코리아 2018'에 참가해 스탠다드 게이트 밸브, 도어 밸브, 뉴매틱 게이트 밸브 등의 진공 밸브를 선보였다. 프리시스는 반도체 및 FPD(평판 디스플레이) 핵심 분야인 고진공 장치를 제공하는 기업이다. 프리시스 주력 제품인 진공밸브는 반도체 웨이퍼나 디스플레이 기판을 이송하는 장치와 프로세스 챔버 등 진공 시스템을 구성하는 부품에 장착돼 진공도를 유지하는 역할을 한다. 이번 전시회에는 직사각형 및 원형의 게이트 밸브, 도어 밸브, 앵글 밸브 등을 전시했다. 프리시스의 진공 밸브는 반도체 공정은 물론 FPD, OLED, 태양열(Solar) 등의 공정에도 적용된다. 프리시스의 제품은 내열성과 내구성이 높아 수명이 길고 많은 반복 동작에도 분진이 방출되지 않아 수율 관리에도 효과적이다. 프리시스는 에이징 시스템을 자체 개발하여 부하 또는 무부하 시 발생되는 제품의 성능을 자동 관측하고 기록하여 신뢰성을 확보하고 있다. 특히 고객의 설비 환경에 최적화된 시스템을 제공하며, 도면 일치율 100%를 구현해 품질 손실을 최소화하는 것이 장점이다. ▲ 프리시스의 직사각형

• 조상록 기자
• 2018-02-02 01:49