일반뉴스 PI, V-308 보이스코일 PIFOC Z축 포지셔너 출시

전원 공급없이 슬라이더와 장착된 부하의 부상 보장 게놈 시퀀싱, 다광자 형광 현미경, 심층 조직 검사, 레이저 가공, 웨이퍼 검사, 마그네틱 핀셋 등 현미경 및 산업 연구 분야에서 긴 이동 범위, 높은 역동성, 정밀도를 갖춘 수직 포지셔닝 시스템이 요구되고 있다. PI는 이러한 모든 요구 사항을 통합하는 새로운 V-308 보이스코일 PIFOC을 출시했다. 이를 통해 magnetic direct drive 기반 솔루션을 제공한다. V-308 PIFOC의 핵심 요소는 단축 슬라이더로, 고정밀 크로스 롤러 가이드가 베이스 바디에 배치된다. 슬라이더는 높은 역동성을 위해 특수 개발된 PIMag® 보이스코일 모터에 의해 구동된다. 7mm의 긴 이동 범위는 사용자가 조정 가능한 하드 스톱을 통해 위아래로 제한할 수 있다. 가속도는 최대 8m/s2, 최대 속도는 200mm/s이며, 이로 인해 ±15nm 오류 대역에서 15msec 이내의 step-and-settle times로 100nm 및 250nm 스텝 사이즈가 가능하다. 고해상도 광학 PIOne 리니어 인코더를 통해 최소 10nm의 높은 정밀도와 25nm의 양방향 반복도를 구현할 수 있다. 따라서 포커싱 유닛의 빠른

• 함수미 기자
• 2022-11-08 16:34