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일반뉴스 큐알티, FIB 장비로 반도체 미세회로 불량분석 전문화해

큐알티가 반도체 불량분석 전문성 강화에 나선다. 큐알티는 나노크기의 조작 및 가공이 가능한 FIB 전문 장비를 활용해 반도체 미세회로를 수정하는 서비스를 제공하고 있다. 이 서비스를 활용하면 반도체 제품 특성 개선 여부를 확인하기 위한 마스크 수정과 웨이퍼 제조에 소요되는 시간과 비용을 대폭 절감한다. 회로 수정은 전체 반도체 금속선 배치도를 기반으로 수정이 필요한 부분을 확인하고, 정밀한 식각 및 증착 작업으로 진행된다. 반도체 금속선 소재로는 알루미늄이나 구리가 많이 활용되는데, 최근에는 미세화 공정 과정에서 발생하는 성능 저하를 방지하기 위해 전기적 특성이 유리한 구리배선을 주로 사용하고 있다. 특히, 반도체 설계시 65nm 이하의 디자인룰을 갖는 IC 제품 군에서는 성능 및 신뢰성을 보장하기 위해서는 반드시 구리배선을 사용해야 하는 상황이다. 그러나, 구리배선 회로 수정의 경우 식각 과정에서 생성된 비휘발성 구리 물질이 기판에 재증착돼 전기적 단락을 일으켜 작업 난이도가 매우 높다. 큐알티는 첨단 FIB 장비와 구리배선 회로 수정 과정에서 발생하는 다양한 변수에 대응 가능한 광범위한 데이터 및 기술 노하우를 축적하고 있다. 반도체 상하단의 위치제약 없

서재창 기자

2022-03-17 14:16

일반뉴스 자이스, 세미콘서 반도체 측정 다방면 포트폴리오 전시

헬로티 함수미 기자 | 자이스가 SEMICON 2022에서 다양한 현미경 솔루션과 정밀 측정 및 역설계 솔루션을 선보인다. 최근 제조업에서 화두의 중심 분야는 반도체 산업이다. 이미 삼성과 SK그룹에서는 수십 조 원을 들여 시스템 반도체에 투자할 만큼 반도체 시장은 지속적인 상승세와 함께 개발되고 있는 산업이다. 수십 여개의 공정이 존재하는 반도체 공정에서 여전히 미지의 영억으로 남아있는 분야는 바로 웨이퍼에 대한 대면적의 인라인 3D 측정 및 검사법이다. 자이스는 SK하이닉스, 삼성전자 등 국내외 굵직한 반도체 대기업과 파트너십을 구축했으며, 웨이퍼의 3D 대면적 계측 솔루션을 개발 중이다. 자이스는 오는 9일부터 11일까지 서울 코엑스에서 개최되는 SEMICON 2022에서 ‘3D TOMO FIB’라는 장비와 함께 해당 솔루션을 선보일 에정이다. 이와 더불어 EUV 기술을 적용한 포토마스크 솔루션 AIMS EUV 3.0 장비와 EUV 포토마스크의 Repair 및 Tuning 장비도 함께 공개할 예정이다. 해당 장비들은 고객 공정 생산성을 크게 향상시켜 줄 차세대 EUV 마스크 솔루션으로 반도체 업계에 큰 기대를 모으고 있다. 자이스는 현미경을 활용한 다이

함수미 기자

2022-01-13 17:24