일반뉴스 알에프세미, 1700V SiC 전력반도체 양산...'95% 수율 확보'

안정성 확보 통해 전기차, 전기차 충전기에 주로 활용 알에프세미가 4일인 오늘 예스파워테크닉스와 공동으로 1700V 실리콘카바이드(SiC) 전력반도체를 개발, 양산을 시작한다고 밝혔다. 1700V급 SiC는 국내에서 첫 개발된 제품으로 SiC 웨이퍼의 제조뿐 아니라 1700V의 고압 측정, 이온 주입, 활성화 공정 및 표면 처리 기술로 상용화에 어려움을 겪고 있다. 알에프세미는 지난해부터 예스파워테크닉스에 650V, 1200V 급 SiC 제품을 파운드리 공급하며 품질 고도화를 위해 협력하고 있다. 이번에 양산된 1700V SiC 전력반도체는 예스파워테크닉스에서 제품 설계와 일부 공정을 진행하고 알에프세미에서 상용화한 것이다. 현재 국내 많은 업체가 650V, 1200V급 SiC 제품을 개발 중이며 1700V급 제품은 해외 기업인 인피니언, 크리, 온세미 등에서 생산되고 있다. 전력반도체는 높은 전력이 필요한 전기제품이나 전기차, 수소차, 5G 통신망 등에서 전류 방향을 조절하고 전력 변환을 제어하는 필수 반도체다. SiC와 GaN를 이용한 전력반도체는 기존 실리콘을 이용한 전력반도체 보다 두 배 이상 큰 전압에 견디며, 고온에서도 정상 동작이 가능하다. 이번

• 서재창 기자
• 2022-08-04 11:03