일반뉴스 스웨즈락, 세미콘서 ALD 밸브 및 유체 시스템 솔루션 공개

스웨즈락 코리아가 2월 9일(수)부터 11일(금)까지 서울 코엑스에서 개최되는 반도체 산업 전시회 세미콘 코리아 2022에 참가한다고 밝혔다. 스웨즈락 코리아는 지속적으로 변화하는 고객 니즈에 맞춰 고성능의 스웨즈락 ALD 밸브 시리즈와 온도 안정성을 위한 단열 호스 및 안전성을 고려한 맞춤형 솔루션을 이번 전시에서 소개할 예정이다. 스웨즈락은 50년 이상 전 세계 반도체 칩 및 장비 제조업체의 방향에 발맞춘 기술 리더십과 고품질 유체 시스템 솔루션에 대한 빠른 대응, 일관된 고객 경험을 제공하고 있다. 그 결과, 다양한 글로벌 반도체 칩 제조업체와 장비 OEM 제조사는 유체 시스템 관련 문제를 해결하고 산업군에서 경쟁 우위를 유지하기 위해 스웨즈락과 협력하고 있다. 올해 세미콘 코리아에서 선보일 스웨즈락의 초고순도 ALD20 밸브는 매우 높은 수준의 정밀성과 청정도 및 긴 수명 주기를 제공한다. 특허 출원 중인 ALD20 설계는 기존의 표준 ALD 밸브 기술로 달성하는 유량 계수의 2~3배를 공급하고, 최소 10°C(50°F)에서 최대 200ºC(392ºF) 사이의 가스 박스 내부에 안정적으로 설치할 수 있어 열 안정성과 증착 균일성을 높인다. 또 다른 중

• 서재창 기자
• 2022-02-07 09:33