일반뉴스 오로스테크놀로지, 한·일 기업과 손잡고 8인치 오버레이 시장 확대

"국내 및 일본의 반도체 제조업체들로부터 제품 수주 검토 단계" 오로스테크놀로지가 기존 12인치 오버레이 장비에 이어 8인치 오버레이 시장으로도 사업 영역을 확장한다고 밝혔다. 오로스테크놀로지는 현재 국내 반도체 제조업체들로부터 8인치 오버레이 장비에 대한 수주를 받았다. 오로스테크놀로지는 올해 하반기 국내 및 일본 반도체 제조업체 4~5곳에 8인치 오버레이 장비 ‘OL-100n’을 공급하기 위한 평가를 진행 중이며, 기존에 레거시 공정에서 딱히 오버레이를 관리하지 않던 업체에서도 공정 개선 필요성이 대두됨에 따라 OL-100n 장비 선택을 고려하고 있다. OL-100n은 오로스테크놀로지의 주력 제품인 12인치 오버레이 기술을 기반으로 한 6인치·8인치 공용 오버레이 장비다. 오버레이는 웨이퍼 상부층과 하부층의 전자회로 패턴 위치가 정확하게 정렬되는지를 측정하는 기술로, 반도체 수율에 직접적인 영향을 미친다. 오로스테크놀로지는 8인치 반도체 시장이 화합물반도체를 중심으로 규모가 확대되고 있다는 점을 고려해 OL-100n을 개발하게 됐다. 화합물반도체는 두 종류 이상의 원소로 구성된 반도체로, SiC, GaN 등이 여기에 속한다. 기존 Si 반도체 대비 전력

• 서재창 기자
• 2022-05-24 14:15