일반뉴스 [세미콘코리아 2018] 린텍, Coriolis식 질량 유량 센서 채용한 매스 플로 컨트롤러 소개

[첨단 헬로티] 린텍코리아는 1월 31일(수)부터 3월 2일(금)까지 코엑스에서 개최되는 ‘세미콘 코리아 2018’에 참가해 Coriolis식 질량 유량 센서 채용한 매스 플로 컨트롤러를 소개했다. 린텍의 매스 플로 컨트롤러에 채용된 Coriolis의 원리는 진동하고 있는 U자 형태의 튜브 내를 유체가 통과하면 튜브의 움직임에 저항력이 발생하고, 이 힘은 질량 유량에 비례한 비틀림을 시킨다. 이 비틀림을 센서에 의해 검출하여 질량 유량을 계측한다. 린텍의 매스 플로 컨트롤러 ‘LC-4000 시리즈’는 Coriolis식 질량 유량 센서를 채용하여 액체 종류에 의한 유량 교정이 불필요한 것이 특징이며 기화기 VU 시리즈와 함께 사용하여 액체기화 공급기로 사용이 가능하다. 부식성, 실링성이 우수한 메탈 실 또는 엘라스토머 실을 채용함으로써 메인티넌스성도 향상됐다. 또한 금속 케이스와 각종 필터의 채용으로 고주파 노이즈와 직류자계가 있는 환경에서도 안정된 동작이 가능하다. 바이패스 구조로 액체 도입과 내부 퍼지가 용이하다. 한편 ‘세미콘 코리아 2018’은 한국 반도체 산업의 지속적인 성장에 힘입어 국

• 김혜숙 기자
• 2018-02-02 22:37