일반뉴스 [세미콘코리아 2018] 엠케이피, 내구성과 신뢰성이 우수한 질량 유량계 제품 다수 전시

[첨단 헬로티] 엠케이피 주식회사가 1월 31일(수)부터 3월 2일(금)까지 코엑스에서 개최되는 ‘세미콘 코리아 2018’에 참가해 Pressure based Mass flow controller인 MARU9000 시리즈를 필두로 내구성 및 신뢰성이 우수하고 설치 및 작동이 편리한 질량 유량계 제품을 대거 소개했다. 엠케이피 주식회사는 질량 유량계 국내 선도기업으로, 이 회사의 질량 유량계 제품은 기체의 유로 구성부가 모두 스테인리스 재질로 제작됐다. 세미콘코리아2018에서 소개된 MARU9000은 엠케이피 주식회사의 독자적인 기술력이 집약된 제품으로, 0.5초 이내의 신속한 응답속도와 전/후단 압력 변동에도 영향을 받지 않고 기존의 제품보다 정밀하고 정확한 기체 제어 솔루션을 제공한다. VIC-D, CAF, PSC-D, EPC, TSC&TSM 시리즈는 CMOS 센서나 MEMS 센서 등을 적용한 제품에 비해 계측부에 직접 접촉되지 않아 센서의 내구성 및 신뢰성도 우수하며, 유량을 제어하는 밸브 등이 일체형으로 제작되어 시스템이나 기존 유로에 적용이 간단해 설치 및 작동이 편리하다. 국외MFC에 의존하였던 국내 반도체 시장에 혜성같

• 김혜숙 기자
• 2018-02-02 22:37