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테크노트 KAIST, ‘머리카락 200분의1’ 초고해상도 디스플레이 픽셀 구현

표면손상 없는 집속 이온빔 이용 LED디스플레이 기술 개발 한국과학기술원(KAIST)은 물리학과 조용훈 교수 연구팀이 집속 이온 빔을 이용한 초고해상도 발광 다이오드(LED) 디스플레이 기술을 개발했다고 22일 밝혔다. 이 기술로 평균 머리카락 굵기인 약 100미크론(㎛·100만분의 1ｍ)의 200분의 1정도인 0.5 미크론 규모의 픽셀을 구현할 수 있다. 집속 이온 빔 기술은 재료공학·생물학 등 분야에서 초고배율 이미지 처리나 나노 구조체 제작 등에 널리 쓰여 왔다. 하지만 LED와 같은 발광체 위에 집속 이온 빔을 사용하면 빔을 맞은 부분과 그 주변 영역 발광이 급격히 감소하기 때문에 나노 발광 구조를 제작하는 데 어려움을 겪었다. 연구팀은 표면이 깎이지 않을 정도로 세기가 약화한 집속 이온 빔을 사용했다. 이 방법은 집속 이온 빔을 약하게 제어해 물질 표면에 어떤 구조적 변형을 일으키지 않고, 발광하는 픽셀 모양을 자유자재로 설정할 수 있는 장점이 있다. 조용훈 교수는 "집속 이온 빔을 이용해 복잡한 공정 없이도 미크론보다 작은 규모의 초소형 픽셀을 만들 수 있는 기술을 새롭게 개발했다"며 "이는 차세대 초고해상도 디스플레이와 나노 광전소자에 응용될 수

이창현 기자

2023-02-22 15:04

일반뉴스 어플라이드, 반도체 미세공정에 특화한 CFE 기술 및 신제품 발표

CFE 기술, 복잡한 3D 아키텍처에서의 미세한 결함도 검출 가능해 어플라이드 머티어리얼즈(이하 어플라이드)가 13일인 오늘 전자빔(eBeam) 이미징의 혁신인 ‘냉전계 방출(CFE∙Cold Field Emission)’ 기술을 상용화했다고 밝혔다. 어플라이드는 자사 최초 CFE 기술에 기반한 전자빔 시스템 ‘SEM비전 G10’, ‘프라임비전 10’ 2종을 출시했다. 어플라이드는 13일 개최한 기자간담회에서 신제품 출시와 함께 회사에 대한 소개, 지난 몇 년간 거둔 성과에 대해 발표했다. 기자간담회에는 어플라이드 머티어리얼즈 코리아 박광선 대표이사, 이석우 전무를 포함한 임직원이 참석했다. 어플라이드는 반도체 업계에서 손꼽는 장비 기업 중 하나다. 이에 반도체 칩과 디스플레이 제품 생산에 사용되는 재료공학 솔루션 분야를 선도하고 있다. 어플라이드는 지난 2022년에 전년 대비 매출이 12% 증가한 257억9000만 달러를 기록했으며, 매출의 10% 이상인 28억 달러를 R&D에 투자하기도 했다. 참고로, 글로벌 매출 중 우리나라가 차지하는 매출 비중은 17%에 달한다. 어플라이드가 주력하는 사업은 반도체 시스템, 어플라이드 글로벌 서비스, 디스플레이

서재창 기자

2023-02-13 17:22