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일반뉴스 생기원, 융합연구로 ‘고속 멀티 프로빙 웨이퍼 검사 시스템’ 개발

반도체 고집적화 추세 대응한 ‘2세대 웨이퍼 검사 시스템’ 국산화 청신호 국내 연구진이 불량 반도체 칩을 16배 빠르게 잡아내는 2세대 웨이퍼 검사 시스템을 개발했다. 한국생산기술연구원(이하 생기원) 디지털전환연구부문 남경태 박사 연구팀은 산학연 융합연구를 통해 동시에 16장의 웨이퍼 검사가 가능한 ‘고속 멀티 프로빙 웨이퍼 검사 시스템’을 개발했다고 밝혔다. 연구팀은 한 번에 한 장의 웨이퍼만 검사할 수 있었던 기존 싱글 프로 빙 장비의 한계를 뛰어넘어, 동시에 16장의 웨이퍼를 검사할 수 있는 시스템을 개발해 단위 시간당 16배 많은 처리량을 구현할 수 있게 됐다. 우리나라는 반도체 웨이퍼 검사 장비의 75% 이상을 해외 제품에 의존하고 있어 장비 국산화에도 청신호를 켠 성과로 평가받고 있다. 웨이퍼 검사는 프로버(Prober) 장비의 척(Chuck) 위에 웨이퍼를 위치시키고, 프로브 카드(Probe Card)와 접촉시켜 불량품을 선별해 내는 방식으로 진행된다. 프로브 카드에 장착된 미세한 핀들이 웨이퍼와 접촉해 전기신호를 보내면, 되돌아오는 신호를 분석해 양품과 불량품을 판별하는 구조이다. 아주 작은 반도체 칩 위에 마이크로미터 크기의 핀 수만 개를 접

임근난 기자

2023-05-30 10:08

기본분류 [SF+AW 2021 참가업체 인터뷰-티라유텍 김정하 대표] “스마트 제조·물류·로봇 솔루션 앞세워 국내를 넘어 해외 시장 확대”

헬로티 임근난 기자 | 스마트 팩토리 솔루션 전문기업 티라유텍은 2006년 설립이후 15년 동안 반도체, 디스플레이 산업의 무인 자동화공장 구축 경험과 기술 개발 노하우를 바탕으로 스마트공장 구축에 필요한 공급망 관리, 생산 실행 관리 및 설비 자동화용 소프트웨어를 공급하고 있다. 티라유텍은 2019년 10월 스마트 팩토리 솔루션 업계 최초로 코스닥에 입성했다. Q. 주력사업은. A. 스마트 제조 산업에서는 생산관리시스템(MES), 생산계획시스템(APS), 품질관리시스템(QMS)를 중심으로, 스마트 물류 사업에서는 공급망관리(SCM), 창고관리시스템(WMS), 물류창고 제어시스템(WCS)등 무인 자동화 구축에 필요한 토탈 솔루션을 공급하고 있으며 여러 대기업 및 중견기업을 고객사로 두고 있다. 최근에는 자율주행 이송로봇(AMR)까지 사업영역을 확대하여, 자동화 산업 전반에 걸쳐 솔루션을 공급하고 있다. 스마트 팩토리 구축에 필요한 다양한 솔루션 라인업을 갖추고 있는 티라유텍은 전문 컨설턴트와 다년간의 축적된 기술 및 노하우를 바탕으로 이미 다수의 국내 대기업과 중소기업 등을 고객사로 확보하고 있다. 티라유텍은 AWS를 도입함으로써 클라우드 서비스를 기반으로

임근난 기자

2021-08-10 11:29