장비 다운타임과 생산 변동성 최소화 및 한계 수율 개선 실현 램리서치는 오늘 웨이퍼 제조 장비의 유지 보수 작업 최적화를 위해 설계된 협동로봇 '덱스트로(Dextro)'를 출시했다고 발표했다. 덱스트로는 현재 전 세계 여러 첨단 웨이퍼 팹에 배치돼 정밀한 유지 보수를 통해 장비 다운타임과 생산 변동성을 최소화하는 한편, 최초 작업 성공(FTR, First-Time-Right) 결과를 통해 한계 수율을 개선하고 있다. 나노 단위의 정밀도가 필요한 만큼 반도체 제조 장비에는 첨단 물리학, 로봇 공학 및 화학 기술 등이 활용된다. 이 때문에 웨이퍼 팹에는 정기적으로 정교한 유지 보수를 필요로 하는 수백 개의 공정 장비들이 설치되어 있다. 덱스트로는 서브미크론(1㎛ 미만) 정밀도를 요구하는 중요한 유지 보수작업을 반복적으로 실시함으로써 장비의 비용 효율성을 향상하도록 설계된 스마트 솔루션이다. 램리서치의 스마트 솔루션에는 자동 보정 및 자가 적응 유지 보수 기능을 통해 팹 운영의 정확성과 안정성을 제공하는 램리서치 장비 인텔리전스 공정 툴은 물론 데이터, 머신러닝, 인공지능, 램리서치의 전문 지식을 활용해 생산성 향상을 달성하는 장비 인텔리전스 서비스도 포함된다.
고객 지원 및 차세대 반도체 솔루션 개발 가속화할 것으로 기대돼 램리서치가 오늘 용인 캠퍼스 개관식을 진행했다. 행사에는 이상일 용인특례시장, 앤드류 게이틀리 주한미국 대사관 상무공사, 제임스 김 주한미국상공회의소(AMCHAM) 회장, 조현대 국제반도체장비재료협회(SEMI) 사장, 김정회 한국반도체산업협회(KSIA) 부회장, 최재붕 성균관대학교 부총장 등 130여 명의 정부 및 업계, 학계 관계자들을 비롯, 팀 아쳐(Tim Archer) 램리서치 CEO, 박준홍 램리서치 코리아 대표이사 등이 참석해 용인 캠퍼스 개관을 축하했다. 이날 행사에서는 ‘K-반도체 인재 양성을 위한 산학정 협력 프로그램에 대한 양해각서 체결식’이 진행됐다. 이 프로그램에는 램리서치, 성균관대학교와 한국반도체산업협회가 참여하며, 내년부터 1년 간의 시범사업을 진행하고 그 이후 확대 시행을 통해 학사 및 석·박사급 반도체 고급 인력을 양성하기로 합의했다. 램리서치는 2025년 시범사업을 위해 총 70억 원에 상당하는 라이선스 및 훈련전문인력을 성균관대학교 공과대학에 제공할 계획이다. 이번 협력 프로그램에 도입되는 램리서치의 ‘세미버스TM 솔루션’은 가상의 팹에 최신 팹 시설을 구현한 디
전 세계 9개 기업이 다양한 부문에서 뛰어난 성과 인정받아 램리서치가 2024년 우수공급업체 수상기업을 발표했다. 올해에는 국내 업체인 텍슨과 토카이카본코리아를 포함한 전 세계 9개 기업이 다양한 부문에서 뛰어난 성과를 인정받았다. 램리서치는 이들 기업과의 긴밀한 협력을 통해 견고하고 지속 가능한 공급망을 구축, 고객 서비스를 제공하고 있다. 램리서치 글로벌 운영 부문 그룹 부사장인 카르틱 람모한(Karthik Rammohan)은 "AI가 반도체 산업을 2030년까지 연간 1조 달러 규모로 성장시킬 것으로 예상되는 가운데, 유연하고 튼튼한 공급망은 혁신을 가속화하고,고객이 차세대 칩 수요를 충족하도록 하는 데 중요한 역할을 한다"고 강조했다. 또한 "2024년 공급업체 우수상 수상 기업들은 품질, 운영, 그리고 환경 및 사회적 원칙에 대한 헌신을 보여준 점에서 높이 평가받았다"고 덧붙였다. 램리서치는 전 세계 수천 개의 공급업체와 협력하여 반도체 제조 장비에 필요한 특수 자재와 부품을 조달하고 있다. 이번 우수상은 다섯 가지 주요 부문에서 선정된 공급망 파트너사에 수여됐다. '운영 실행 우수상' 부문에서 텍슨과 셀레스티카가 선제적이고 유연한 납품 전략, 재고
반도체 산업은 기술 혁신과 함께 급격한 변화를 겪는다. 이 변화에는 반도체 제조 장비와 밀접한 관련이 있다. 신기술 도입과 반도체 수요 증가는 장비 시장을 견인하며, 장비 생산성과 품질은 더 나은 반도체를 만드는 배경이 된다. 이를 위해 주요 반도체 제조 기업들은 새로운 생산 기술 및 장비를 도입하는데 투자를 아끼지 않는다. 이처럼 반도체 시장과 장비 간의 상호작용은 단순한 거래 관계를 넘어 긴밀한 협력을 통해 선순환 구조를 이뤄간다. 터널 지나고 반도체 호황기 도래하나 지난 1월, 전 세계 반도체 업계 시가총액이 하루 만에 220조 원가량 불어나 화제가 됐다. 블룸버그통신은 이 결과가 반도체 산업 회복에 대한 기대심리가 반영된 것이라고 분석했다. TSMC의 경우 뉴욕 주식시장에서 실적이 공개된 후 10%에 달아는 상승 폭을 보였다. 유럽에서는 ASML이 눈에 띄었다. 반도체 시장을 대표하는 엔비디아와 인텔 등 미국 주식이 오르며 필라델피아 반도체 업종 지수가 크게 뛰었다. 여기서 끝이 아니다. 삼성전자, SK하이닉스, 도쿄 일렉트론, 어드반테스트 등 주가도 3% 이상은 상승했다. 이 같은 흐름을 끌어낸 건 AI다. 전 세계에 도래한 AI 열풍은 개인의 삶을
반도체 장비에 이어 PC, 스마트폰 수요도 감소세 이어져 세계적 반도체 수요 부진에 미국의 대(對) 중국 수출 규제까지 더해지면서 세계 반도체업계의 실적 악화 흐름이 메모리·비메모리·장비 등 업계 전반으로 확산하고 있다. 19일(현지시간) 미국 월스트리트저널(WSJ)과 블룸버그통신 등에 따르면, 램리서치는 미 당국의 중국 상대 규제로 내년 매출이 25억 달러 정도 줄어들 것이라고 이날 밝혔다. 램리서치의 팀 아처 최고경영자(CEO)는 중국 관련 규제와 수요 감소가 겹치면서 메모리 생산업체를 중심으로 반도체 업계가 내년 설비투자를 20% 이상 줄일 것으로 보인다고 전망했다. 어플라이드 머티리얼즈도 이달 초 중국 규제를 이유로 이번 분기 매출이 애초 전망보다 약 4억달러(약 5천700억원) 감소할 것으로 예상된다고 밝혔다. 엔비디아도 지난 8월 AI용 최첨단 반도체의 중국 수출을 중단하라는 미 당국의 통보를 받은 뒤 4억 달러 정도의 분기 매출이 타격을 받을 수 있다고 경고했다. 뱅크오브아메리카 애널리스트에 따르면, 중국으로 수출되는 반도체는 미국 규제의 표적인 슈퍼컴퓨터뿐 아니라 스마트폰과 PC, 게임기 등에도 사용된다며 중국이 세계 최대 반도체 수요국인 만큼
中 정부, 내수시장에서 충분한 수요 제공하겠다는 입장 밝혀 중국을 겨냥한 미국의 반도체 수출 통제 발표 이후 중국 정부가 업계 관계자들과 여러 차례 긴급 대책회의를 하는 등 위기감에 휩싸인 것으로 알려졌다. 하지만 아직은 내수 지원 강조 외의 새로운 대책은 나오지 않은 상태라고 블룸버그통신이 20일 보도했다. 중국 공업정보화부는 최근 반도체 기업 양쯔메모리테크놀로지(YMTC)와 슈퍼컴퓨터 업체 수광 정보산업을 비롯한 반도체 업계 주요 기업 임원들을 소집해 비공개회의를 열고 미국의 제재에 따른 피해를 평가했다. 이는 미국 상무부가 지난 7일 미국 기업의 18nm 이하 D램·128단 이상 낸드플래시 중국 수출과 14nm 이하 로직칩을 생산하는 중국 기업에 대한 반도체 장비 수출을 사실상 금지하는 수출통제 조치를 발표한 데 따른 것이다. 게다가 미국 장비업체 램리서치가 YMTC에 파견한 직원들을 철수시키는 등 서방 기업들이 잇따라 중국 반도체 업계와의 협력 관계를 중단하는 상황이다. 소식통에 따르면 회의 참석자 다수는 미국의 제재로 중국의 기술자립 의지는 물론 반도체 업계가 파멸을 맞을 것이라 우려했으며, YMTC 측은 회사의 미래가 위험에 빠질 수 있다고 위기감
한층 엄격해진 반도체 장비 수출 규제, 일각에서는 경쟁력 저하 우려 언급 서방 반도체 장비업체들이 미국의 새로운 대 중국 반도체 수출 규제에 맞춰 일부 중국 반도체 제조업체들과의 협력 관계를 잇따라 끊고 있다고 미 워싱턴포스트(WP)가 17일(현지시간) 보도했다. 미국의 반도체 장비 기업 어플라이드 머티리얼즈는 미국 정부의 이번 규제로 4분기 매출이 4억 달러 정도 줄어들 것이라고 밝혔다. 네덜란드의 반도체 노광장비 기업 ASML은 지난주 중국 내 반도체 공장에서 설비 설치 또는 서비스를 지원하는 미국 시민권자·영주권자, 미국 거주 비 미국인 등에 작업을 중단하라고 통보했다. 미국의 반도체 장비업체 KLM과 램리서치도 중국 국영 반도체 기업 양쯔메모리테크놀로지(YMTC)에 파견한 직원들을 철수하고 새 장비 설치와 이미 설치한 장비 관리 등 지원을 중단했다. 법조계에 따르면 서방 기업들은 통상 미 정부의 새 규제 직후 수출을 폭넓게 중단하고 관련 규정을 자세히 살펴본 뒤 일부 수출을 재개한다. 하지만 국가안보 전문가들은 중국의 첨단 반도체 생산을 막기 위한 이번 규제가 그간 지금까지 미국이 만든 규제 가운데 가장 강력한 것에 속한다고 지적, 당장 수출 재개가
SK하이닉스, 램리서치 건식 레지스트 제조 기술로 첨단 D램 패터닝에 활용 예정 램리서치는 15일인 오늘 SK하이닉스가 첨단 D램 칩 생산의 두 가지 핵심 공정 단계를 위한 개발 도구로 램리서치의 혁신적인 건식(드라이) 레지스트 제조 기술을 채택했다고 발표했다. 램리서치가 2020년 선보인 극자외선(EUV) 리소그래피를 위한 건식 레지스트 신기술은 차세대 반도체 생산에 사용되는 핵심 기술인 EUV 리소그래피의 해상도, 생산성, 수율을 개선한다. 램리서치는 SK하이닉스와의 협업 및 건식 레지스트 기술에 대한 반도체 생태계 파트너와의 지속적인 협력을 통해 EUV 리소그래피를 사용해 미래의 메모리 노드 확장에 관련된 장애물을 제거하도록 패터닝 혁신을 추진하는 데 주도적인 역할을 계속하고 있다. 램리서치의 건식 레지스트 제품군 총괄 매니저인 리차드 와이즈(Richard Wise) 부사장은 "램리서치의 건식 레지스트 기술은 게임 체인저가 될 것이다. 재료 수준의 혁신을 통해 EUV 리소그래피의 가장 큰 과제를 해결하고 고급 메모리와 로직에 대한 비용 효율적인 확장을 가능하게 할 것"이라고 밝혔다. SK하이닉스는 램리서치의 건식 레지스트 하층막과 건식 개발 공정을 첨단
램리서치 코리아테크놀로지 센터를 통해 차세대 반도체 기술 혁신을 위한 고객과의 긴밀한 협력 진행 램리서치가 26일 오전 반도체 장비 및 공정 기술 개발을 위한 최첨단 연구개발 시설인 ‘램리서치 코리아테크놀로지 센터(Lam Research Korea Technology Center)’의 개관식을 진행했다. 램리서치 코리아테크놀로지 센터는 한국의 K-반도체 벨트 중심부인 용인 지곡 산업단지에 위치해 고객과의 접근성을 높였다. 새롭게 개관한 램리서치 코리아테크놀로지 센터는 미국 및 유럽 연구소와 함께 램리서치 R&D 운영의 주요 거점으로 활용되며, 세계적으로 최첨단 반도체 소자를 생산하는데 사용되는 장비 및 공정을 혁신하기 위한 포괄적인 인프라를 구축했다. 또한, 램리서치 코리아테크놀로지 센터는 향후 확장을 지원할 수 있는 능력을 갖춘 최첨단 클린룸을 보유하고 있으며, 센터 인력은 대부분 유수 대학원 이공계 박사 학위를 소지한 과학자 및 엔지니어로 구성된다. 램리서치 팀 아처(Tim Archer) 회장 겸 최고경영자(CEO)는 “램리서치 코리아테크놀로지 센터는 램리서치 글로벌 R&D 네트워크의 강력한 확장”이라며 “고객과 보다 긴밀한 기술 파트너십을
램리서치가 이상원 현 램리서치코리아 대표이사를 램리서치매뉴팩춰링코리아와 램리서치코리아테크놀로지 신임 대표이사로 선임했다고 밝혔다. 이상원 램리서치 한국법인 총괄 대표이사는 글로벌 반도체 장비 기업에서 30년 넘게 종사한 반도체 업계 전문가다. 램리서치와 어플라이드머티어리얼즈에서 마케팅, 사업개발, 글로벌 고객 사업부 등 주요 부서에서 탁월한 성과를 창출해왔다. 어플라이드머티어리얼즈코리아의 대표이사를 거쳐, 2021년 1월 램리서치코리아의 신임 대표이사로 선임됐다. 램리서치매뉴팩춰링코리아는 지난해 설립 10주년을 맞은 램리서치의 글로벌 생산기지다. 반도체 장비 부품의 로컬 소싱을 넘어 장비 제조 생산 현지화의 기지로, 한국 반도체 장비 부품 산업 성장의 동반자 역할을 해왔다. 지난 2월 램리서치는 차세대 트랜지스터 구조 ‘게이트올어라운드(GAA)’ 공정에 투입되는 혁신적인 고선택비 정밀 식각 장비 제품군을 출시하며 해당 제품군을 램리서치매뉴팩춰링코리아에서 생산한다고 밝히기도 했다. 램리서치코리아테크놀로지는 램리서치가 미국 이외 지역에서 선보이는 가장 진보적인 최첨단 반도체 연구시설이다. K-반도체 클러스터의 중심부인 용인시 지곡 산업단지에 위치하며 올해 상반기
신문정 램리서치 디렉터가 사회 초년생 여성 엔지니어들에게 전하는 메시지 1990년대 말, 나는 남성이 주를 이루던(지금도 여성 비율은 10-25%에 불과하다) 반도체 산업에서 여성 공정 엔지니어로서의 경력을 시작했다. 당시 새로운 영역을 개척하기란 쉽지 않았다. 관리자와 고객들은 나처럼 일반적이지 않던 여성 엔지니어와 일하는 것을 꺼려했다. 하지만 나는 남성 엔지니어와 동일한 기회를 달라고 요청했다. 그리고 스스로를 '여성 엔지니어'가 아닌 '엔지니어'로 생각하려 했다. 운 좋게도 함께 일하는 동료가 많았고, 상사들 역시 나에게 계속 배우고 발전할 수 있는 기회를 많이 주었다. 엔지니어링 분야에서 여성이기 때문에 생긴 희망은 남성 동료들이 업무적으로 내게 뭘 기대해야 하는지 몰랐다는 데 있다. 여성의 능력에 대한 오해는 많았다. 그래서 내가 일을 잘하면 바로 성과로 인정받았다. 2000년대 초 반도체 업계에는 큰 변곡점이 있었다. 반도체 웨이퍼가 기존 8인치에서 현재 산업 표준이 된 12인치로 바뀐 것이다. 나는 새로운 12인치 웨이퍼를 연구하는 프로젝트에 지원했고 성장할 수 있는 기회라 여겼다. 지원자는 많았다. 면접에서 프로젝트 관리자는 이 프로젝트는 장
램리서치는 10일인 오늘 혁신적인 웨이퍼 제조 기술과 새로운 케미스트리 솔루션을 적용해 GAA(Gate-All-Around) 트랜지스터 구조의 개발을 지원하는 고선택비 식각 장비 제품군을 발표했다. Argos, Prevos, Selis의 세 가지 신제품으로 구성된 램리서치의 고선택비 식각 장비 포트폴리오는 첨단 로직 및 메모리 반도체 개발을 위한 설계 및 공정에 강력한 이점을 제공한다. 반도체 성능 및 효율성 향상을 위해 소자의 집적도를 높일 필요성이 더욱 높아지고 이에 맞춰 반도체 제조업체는 현재 3D 구조의 트랜지스터를 개발하고 있다. 이는 중요 막질을 변형하거나 손상시키지 않기 위해 초고도 선택비를 통한 정밀 식각과 등방성 식각을 요구하는 복잡한 공정이다. 램리서치의 고선택비 식각 솔루션은 첨단 로직 구조인 나노시트 또는 나노와이어 형성을 지원하는 데 필요한 초고도 선택적 식각과 막질을 손상시키지 않는 기술을 제공한다. 반도체 제조 공정에서 집적도의 한계에 도달할 경우 평면 구조에서 3D 구조로의 혁신적 도약을 이루도록 지원하는 핵심 기술이다. 로직 및 파운드리 반도체 제조업체와 협력해 개발한 램리서치의 고선택비 식각 기술은 이미 삼성전자와 같은 업계를
헬로티 서재창 기자 | 램리서치가 8일인 오늘 신제품 Syndion GP를 발표했다. Syndion GP는 자동차, 전력 송배전, 에너지 부문에 사용되는 차세대 전력 소자와 전력 관리 집적 회로를 개발하는 반도체 칩 제조업체들이 딥 실리콘 식각을 구현한다. 자동차, 전력 송배전, 에너지 부문의 기술 고도화로 칩 수준에서 전력 증가, 성능 개선, 밀도 증가에 대한 요구가 커지면서 고종횡비 구조에 필요한 전체 웨이퍼 간 균일도 요건이 강화됐다. 이 웨이퍼 간 균일도를 갖는 고종횡비 기술은 폼 팩터를 희생시키지 않고 고급 소자개발을 가능하게 할 수 있다. 이를 위해 소자 제조업체는 정밀하고 균일한 딥 실리콘 식각 공정을 갖춰야 한다. 이 같은 고정밀 제조 공정을 지원하도록 설계한 것이 바로 Syndion GP다. 이 장비는 기존 200mm뿐 아니라 300mm 크기의 웨이퍼에서도 소자를 생산하도록 구성해서 사용할 수 있어 용량 증가로 가는 과정이 간소화된다. 현재 많은 전력 소자가 200mm 직경 실리콘 웨이퍼로 제조되지만, 증가하는 수요를 맞추기 위해 300mm 웨이퍼 생산으로 이동하는 중이다. Syndion GP는 램리서치의 딥 실리콘 식각 능력을 기반으로 하며
헬로티 서재창 기자 | 한국반도체산업협회(이하 협회)는 지난 10월 27일부터 29일까지 총 3일간 서울 코엑스 C홀에서 ‘제23회 반도체대전(SEDEX)’을 개최했다. 산업통상자원부가 주최하고 한국반도체산업협회가 주관하는 전시회에는 삼성전자와 SK하이닉스를 비롯해 반도체 소재, 부품, 장비, 설계, 설비기업 등 반도체 산업 생태계를 구성하는 237개 기업이 600부스 규모로 참여했다. 주최 측인 협회는 이번 전시회가 역대 최대 규모라고 설명했다. 반도체대전은 코로나19 팬데믹 이전 상황을 떠올릴 만큼 많은 방문객이 참여해 성황을 이뤘다. 전 세계가 반도체 수급난을 겪는 상황에서 개최된 이번 전시회는 공개된 신기술을 비롯해 반도체 공급 불안을 타개하기 위한 참가기업의 다양한 노력이 돋보였다. 특히 차량용 반도체와 관련된 솔루션이 다수 전시됐다. 국내에서도 차량용 반도체 자립화를 위한 다양한 움직임이 보이고 있다. 지난 2019년, 당시 자동차 반도체 시장 규모는 377억 달러로 전체 반도체 시장의 8%를 차지했다. 올해 시장 규모는 400억 달러를 넘어 2023년에는 510억 달러로 성장할 것으로 예상된다. 이처럼 전동화와 ADAS 장착 확대로 관련 반도체
헬로티 서재창 기자 | 램리서치의 반도체 장비 생산기지인 램리서치매뉴팩춰링코리아가 11월 1일 창립 10주년을 맞았다. 램리서치매뉴팩춰링코리아는 지난 2011년 설립 이후 10년 동안 부품 로컬 소싱을 넘어 반도체 장비 국산화로 한국 반도체 산업 생태계와 함께 성장해왔다. 단순히 부품 소싱을 넘어, 엄격한 품질 관리와 교육으로 국내 협력사의 역량을 높여 국내에서 제조한 반도체 장비를 글로벌 시장으로 역수출하는 단계까지 이르렀다. 실제로 매년 생산량을 늘려가며 2021년에는 7000호기를 생산해 국내 공급과 함께 글로벌 시장으로 수출하는 성과를 만들어냈다. 램리서치는 국내 및 전 세계 고객사 지원도 확대하고 있다. 2011년 경기도 오산 공장을 세운 이후 생산 시설을 확장하면서 전 세계 반도체 고객사에 대한 지원 수준을 한층 더 높여가고 있다. 2020년 용인시에 추가로 두 번째 물류센터를 건립한 데 이어, 2021년 하반기에는 경기도 화성에 국내 세 번째 공장을 본격적으로 가동하기 시작했다. 최첨단 반도체 설비 제조 시설을 갖춘 화성공장은 경기도 오산시와 용인시에 위치한 기존 공장의 생산 용량을 합한 규모와 맞먹는 생산 능력을 갖췄다. 이 같은 신규 화성 공
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