일반뉴스 큐알티, AFM 표면분석 서비스로 반도체 생산 효율 높인다

시료 표면 거칠기, 저항, 정전용량, 전기전도도 등 분포를 이미지로 구현 큐알티가 AFM(Atomic Force Microscopy, 원자현미경)을 활용한 표면 분석 서비스로 전자재료 공정 개선에 나선다. AFM은 시료 표면의 원자와 미세한 캔틸레버 팁의 원자 간 상호 작용하는 힘을 활용해 시료의 형상과 물성을 나노미터 수준으로 계측 및 분석하는 장비다. 반도체 등 전자재료 공정의 생산효율성을 높이기 위해서는 결함을 신속하게 파악하는 것이 관건인데, AFM은 문제가 발생한 부분의 형상과 크기 깊이 등을 정밀하게 분석할 수 있어 업계의 관심이 높다. 큐알티의 AFM 표면 분석 서비스는 0.05nm에 이르는 Z축 분해능을 통해 옹스트롬(0.1nm) 단위 분석이 가능한 것이 특징이다. 또한, 분석 목적에 따라 최적화된 캔틸레버 팁을 사용해 고종횡비 구조물 등 일반적인 방식으로 확인이 어려운 시료 표면의 형상도 정밀하게 확인한다. 이를 통해 시료의 표면 거칠기, 저항, 정전용량, 전기전도도 등의 분포를 이미지로 구현하게 됐으며, SCM 측정법을 활용할 경우 반도체 미세 구조 단면에서 도핑 농도 프로파일 이미지도 취득 가능하다. 큐알티는 AFM 시스템을 기반으로 반도

• 서재창 기자
• 2022-06-10 10:25