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프로덕트 넥스젠웨이퍼, 다기능 반도체 챔버 ‘SERENO’ 시장 상륙

‘FEOL·BEOL 공정 특화’ 6·8·12인치 웨이퍼 전용 다기능 챔버 데뷔 통합 계측부터 습식 식각, 세척까지 ‘올인원’ 기능 선사한다 웨이퍼 처리량 약 200개, 소형화 설계, 다종 웨이퍼 두께 처리 유연성 등 갖춰 넥스젠웨이퍼시스템(이하 넥스젠웨이퍼)의 반도체 공정 전용 챔버 플랫폼 ‘세레노(SERENO)’가 이달 6일 글로벌 시장에 본격 출시했다. 세레노는 습식 식각(Wet Etch) 및 클리닝 공정에 최적화된 다목적·다기능 챔버 시스템이다. 6·8·12인치 및 다양한 두께의 웨이퍼를 다루며, 표면 거칠기 정도를 뜻하는 ‘표면 조도’를 제어하기 위한 통합 제어 기능도 갖췄다. 여기에 화학물질 공급 시스템을 채택해 각종 공정에 특화된 소재를 소화한다. 이를 통해 공정 유연성을 제고할 수 있다. 이번 최신 챔버 솔루션은 전공정(Front End Of Line, FEOL), 후공정(Back End Of Line, BEOL)에 이르는 공정에 모두 적용 가능하다. 아울러 소형화 설계를 적용해 약 12m² 미만의 공간에도 설치 가능하고, 시간당 최대 200개의 웨이퍼 처리 성능을 보유했다. 크리스티안 클라인스트(Christian Kleindienst) 넥스젠웨

최재규 기자

2024-11-19 11:50

일반뉴스 이스턴기어, 각종 행사서 償 휩쓸어...산업용 기어 기술력 ‘확인’

로보월드, 재도전 성공패키지, 글로벌 이노베이터 페스타 등서 수상 이어져 “투자·연구개발 지속해 혁신 기어 기술 제공할 것” 이스턴기어가 다양한 산업 행사에서 연이어 수상하며 기술력을 입증했다. 이스턴기어는 창업 아이디어 축제 ‘글로벌 이노베이터 페스타(GIF)’, 재창업 비즈니스 행사 ‘재도전성공패키지’, 로봇 산업 박람회 ‘국제로봇산업대전(로보월드)’에서 각각 대상·우수상·장려상을 받았다. 이스턴기어는 소형·정밀화를 요구하는 각종 산업에 특화된 장구형 웜기어(Globoid Worm Gear)를 공급하고 있다. 이 기술은 각 기어가 꺾이는 구조로 맞물려 협소한 공간에도 유연한 구축을 지원한다. 특히 기어 표면을 동시에 접촉하는 설계를 채택해 진동·소음 등을 최소화하고, 내구성을 강화하는 데 초점을 맞춰 디자인됐다. 이러한 특징은 미국기어제조공업회(AGMA)의 표준에 기인한 설계점이다. 해당 기술은 현재 소형 전자기기, 로봇 등 제품에 최적화된 솔루션을 제공한다. 이스턴기어는 이를 더욱 고도화해 휴머노이드 로봇의 손가락·무릎 등 관절부에 특화된 기어·감속기 개발을 목표하고 있다. 곽유현 이스턴기어 대표는 “투자·연구개발(R&D)를 지속해 혁신 기어 기

최재규 기자

2024-11-17 17:25

프로덕트 오토닉스, ‘BS5 시리즈’에 유연 케이블 모델 가미

설치·운용 유연성 극대화에 초점...내구성 강화도 꾀해 “소형·정밀화 트렌드에 맞춤형 솔루션” 오토닉스가 포토 마이크로 센서 라인업 ‘BS5 시리즈’에 유연 케이블 제품을 추가했다. BS5 시리즈는 K·T·V·L·Y·F·R·TA 등 형태로 세분화돼 다양한 현장에 구축 가능한 포토 마이크로 센서 제품군이다. 접속 방식은 배선 인출형, 커넥터형 두 가지를 지원한다. 이번 신모델은 기존 라인업에 적용된 일반형 케이블을 대체하는 유연 케이블이 탑재돼 설치·운용 효율 극대화를 노렸다. 유연 케이블 모델은 입·차광 시 표시등이 점등하는 두 가지 모델로 구성됐다. 아울러 모든 방향에서 확인 가능한 동작 표시등도 탑재돼 동작 상태를 명확히 파악할 수 있다. 여기에 2000Hz까지의 진동을 견디며, 최대 1500G의 충격을 흡수하도록 내구성이 개선됐다. 오토닉스 관계자는 “이번 유연형 케이블 제품은 소형·정밀화 트렌드에 최적화된 포토 마이크로 센서”라고 소개했다. 헬로티 최재규 기자 |

최재규 기자

2024-11-17 17:24