일반뉴스 큐알티, TDDB 수명평가 서비스로 절연막 불량 조기 발견한다

큐알티가 전력반도체의 게이트 옥사이드(절연막) 불량을 조기에 확인하는 TDDB(Time Dependent Dielectric Breakdown of Ultra-Thin Gate Dielectrics) 수명평가 서비스를 출시했다. 큐알티의 TDDB 수명평가 서비스는 국제반도체표준협의기구(JEDEC)에서 제정한 게이트 옥사이드 신뢰성 평가 표준인 ‘JESD 92’에 맞춰 설계됐다. JESD 92는 주로 초박형 게이트 산화물의 ‘Wear Out(마모)’ 또는 TDDB(시간종속 절연항복 특성)의 가속도 매개변수를 추정하기 위해 규정됐다. 전류 방향과 전력 변환을 제어하는 데 핵심적인 역할을 하는 전력반도체는 전기차, 전자제품, 5세대 통신망 등 다양한 분야에서 폭넓게 활용되고 있다. 특히, 실리콘 카바이드(SiC)의 경우 일반 실리콘 대비 10배 이상의 고전압에 견디고, 열전도도 3배 이상 높아 차세대 전장 부품 및 항공·우주 소재로 각광받고 있다. 전기차 분야에서는 배터리와 전기모터를 연결하는 고성능 인버터 내 필수 부품으로 활용되기도 한다. 그러나, 실리콘 카바이드는 게이트 옥사이드 형성 시 순수 실리콘과 달리 카본 클러스터에 의해 계면 포획 특성이 좋지 않고,

• 서재창 기자
• 2022-05-20 09:23