일반뉴스 ACM 리서치, 고객사에 Ultra ECP map 데모 장비 수주

헬로티 서재창 기자 | ACM 리서치는 주요 IC 제조기업으로부터 자사의 Ultra ECP map 구리 도금 장비에 대한 평가판을 수주했다고 밝혔다. 해당 장비의 납품은 2022년 초로 예정됐으며, 계약 조항에는 관련 기술적 품질 보장 및 기타 상업적 조건들이 적용된다. ACM 리서치의 대표이사 CEO인 데이비드 왕(David Wang) 박사는 “아시아 기반의 또 다른 주요 반도체 제조사로부터 첨단 공정 개발을 위해 Ultra ECP map 장비에 대한 평가판을 수주하게 돼 기쁘다”고 밝혔다. 이어 그는 “이번 장비 주문은 ACM의 기술 선도력과 현지 지원팀, 그리고 점점 더 확대되는 생산 규모를 입증한 것이다. 이 장비에 대한 평가를 성공적인 완료함으로써, 우리는 이 고객사는 물론 이 지역의 다른 주요 고객과도 많은 비즈니스 및 협력 기회를 이어갈 것으로 믿는다”고 덧붙였다. ACM의 Ultra ECP map은 업계에서 이미 검증된 전기화학도금(ECP) 기술을 기반으로 한다. 이 장비는 ACM의 다중 양극 부분 구리 도금 기능을 지원해 첨단 기술 노드에서 듀얼 다마신 구조 위에 구리 금속층 증착이 가능하게 해준다. 또한, 소모품 비용과 소유 비용을 최소화하

• 서재창 기자
• 2021-11-16 13:57