일반뉴스 인테그레스, CDS에서 정전하 제거한 유체 관리 시스템 출시

초고순도 PFA와 전도성 PFA를 한 겹으로 사출 성형 [헬로티 = 김동원 기자] 반도체 업계와 하이테크 업계에 첨단 소재 및 공정 솔루션을 공급하는 인테그리스(Entegris)가 최첨단 반도체 제조에 반드시 필요한 CDS(chemical delivery system, 화학약품을 적재적소에 알맞은 양으로 공급하는 장비)에서 정전하를 제거한 새로운 유체 관리 시스템을 출시했다고 발표했다. 반도체 제조에 필요한 용액 및 기타 가연성 화학물질을 전달하는 전통적 스테인리스강 유체 관리 시스템은 극단적으로 작은 금속 불순물에 대한 오늘날의 요구조건에 부응하지 못한다. 그 결과 첨단 반도체 제조업체들은 스테인리스강 시스템에서 벗어나 불소중합체(PFA) 시스템을 도입하고 있다. PFA 시스템은 스테인리스강 시스템이 야기하는 금속 오염을 줄여줬다. 다만 비전도성 전기 절연체라는 특성상 정전하와 관련된 새로운 문제를 일으켰다. 브렛 라이쇼유(Brett Reichow) 인테그리스 첨단소재처리(AMH) 사업부에서 유체관리 부문 부사장은 “CDS를 통해 흐르는 유체에 누적된 정전하가 방전하면 유체 관리 부품을 손상시키고 종국에는 실리콘 웨이퍼에 결함이 발생할 수 있다&

• 김동원 기자
• 2020-09-23 17:21