일반뉴스 융기원, 반도체 장비 활용한 물성 분석 전문가 양성

경기도·서울대학교 공동 출연 법인 차세대융합기술연구원(이하 융기원)은 ‘경기도 반도체 산업 전문인력 양성사업’의 하나로 2023년 하계 반도체 물성 분석 전문가 양성 교육을 시행했다고 밝혔다. 이번 교육은 중급자 교육으로, 경기도 반도체 공유대학인 경기대학교의 나노·반도체전공 학생을 대상으로 7월 3일부터 8월 25일까지 8주간 시행됐다. 교육은 반도체 소재 및 소자 제작 실습, X-선 회절 분석기 및 이온빔 주사전자현미경을 이용한 물성 분석 등 장비의 구동 원리부터 조작, 분석 결과 해석까지 체계적으로 진행됐다. X-선 회절 분석기는 분말, 박막 시료 측정과 데이터베이스를 이용한 상분석 및 두께 분석을 하는 장비다. 이온빔 주사전자현미경은 이미지 측정, 단면 측정, 원소 성분비 계산 등 반도체 소재 및 소자의 물성을 확인할 수 있는 장비다. 머리카락 10만분의 1에 해당하는 나노 크기의 반도체 소자는 두께, 거칠기, 밀도 등 구조, 순도, 표면, 형태의 미세한 차이가 성능에 결정적 영향을 미친다. 따라서 이를 관찰·분석하는 절차는 반도체 소자를 개발하는 데 매우 중요한 단계다. 또 단면 측정을 통한 불량 분석은 수율, 성능, 신뢰성을 높이는 데 중요한 요인

• 함수미 기자
• 2023-08-26 19:39