테크노트 기계연, 세계 최초 접착제 없는 나노광소자 대량 제조기술 개발

화학흡착 나노전사기반 공정으로 나노광소자 대량 생산 성공 기계연-NTU 공동연구, 연구성과 저명학술지 ‘ACS NANO’ 발표 한국기계연구원이 세계 최초로 접착제가 필요 없는 화학흡착 나노전사기반 나노광소자 대량 제조기술을 개발했다. 나노광검출기부터 나노LED, 나노태양전지까지 다양한 분야에 활용되는 고가의 나노광소자 생산공정을 획기적으로 개선해 경제성을 높일 것으로 기대된다. 기계연 전략조정본부 정준호 본부장은 접착제가 필요 없는 화학흡착 나노전사기술을 개발하고, 연구성과를 나노분야의 저명 학술지 ‘ACS NANO’ 16호에 발표했다. 이번 연구는 싱가포르 난양공대(NTU) 전기전자공학과 김문호 교수 연구팀과 함께 이뤄졌다. 이번 연구는 고세장비(High aspect ratio) 나노구조체기반 나노광소자를 저가로 대량 제조할 수 있는 화학흡착 나노전사기술 개발에 성공했다. 기존 고가의 노광장비와 건식 식각장비 대신 저가의 나노전사장비와 습식 식각장비만으로 고성능 나노광소자의 대량 제조에 성공한 것이다. 이번에 개발한 화학흡착 나노전사공정은 나노구조체가 패터닝된 유연 나노스탬프에 20㎚ 두께의 금을 증착하고 특정 압력(5bar)과 온도조건(160-200℃)으

• 임근난 기자
• 2022-03-20 12:12