일반뉴스 큐알티, TPA 레이저 시스템 도입으로 반도체 분석력 높여

큐알티가 24일인 오늘 반도체 소프트에러 정밀 평가 분석 장비 'TPA(2광자 흡수, Two Photon Absorption) 레이저 시스템'을 도입했다고 밝혔다. TPA 레이저 시스템은 광전자 효과 원리를 이용한 첨단 양자 기술 장비로 미국 항공우주국(NASA)과 유럽우주국(ESA)에서도 많이 활용되는 것으로 알려져 있다. 아시아에서는 한국이 처음으로 해당 장비를 도입했다. 이 시스템은 자연방사선에 의해 발생하는 단일 사건 전이(SEU, Single Event Upset)를 재현해 반도체 소프트에러를 유발하는 임계 에너지를 확인하고, 방사선 취약 위치와 깊이까지 정확하게 파악하는 것이 특징이다. 큐알티는 TPA 레이저 시스템으로 반도체 소자의 집적회로 내부 특정 위치에 레이저를 조사해 변화 현상을 모니터링하고 결과값을 분석한다. 중성자나 양성자 같은 가속입자를 이용한 일반적인 가속기 시설의 경우, 입자 중 어떤 에너지에 의해 소자 내 특정 부분에 에러가 발생했는지 찾아낼 수 없어 소프트에러의 위치와 반응 에너지 파악이 불가능하다. 큐알티의 TPA 레이저 시스템은 가속 평가에 사용되는 기존 방사선 빔 시설이 제공하는 입자 에너지 값보다 높고 넓은 대역의 에너

• 서재창 기자
• 2022-03-24 09:31