헬로티 함수미 기자 |
산업용 로봇 및 자동화 시스템 전문기업 세정로봇이 스마트공장·자동화산업전 2021(Smart Factory+Automation World 2021)’에서 저손상 초고속 웨이퍼 오토로딩 시스템을 선보였다.
스마트공장·자동화산업전 2021은 9월 8일(수)부터 10일(금)까지 서울 코엑스에서 열리는 아시아 최대 규모 스마트공장 및 자동화산업 전문 전시회다.
저손상 초고속 웨이퍼 오토로딩 시스템이란, 반도체 제종 공정 1단계에서 ‘웨이퍼(silicon wafer) 제조 단계’ 중 연마(Polishing) 공정 내 웨이퍼 LD/ULD 자동화를 꾀하는 체계다. 이를 통해 생산 제품의 정합성 및 가공 정보 확보를 통해 더 안정적인 품질 및 생산량을 추구할 수 있다는 효과를 지닌다.
전시된 제품은 세정로봇이 생산 공장의 로봇 자동화에 주로 취급하는 협동 로봇의 모형으로, ABB사의 IRB14000 YuMi와 IRB6700, 그리고 야스카와(YASKAWA)사의 SDA10 등이다.
한편 첨단, 한국산업지능화협회, 한국머신비전산업협회, 코엑스가 공동주최하는 이번 전시회는 ‘디지털뉴딜의 미래(The Future of Digital New Deal)’라는 주제 하에 약 500개사 스마트공장, 머신비전, 자동화 기업이 참가하여 1,800개 부스에서 최신 스마트 제조 기술을 선보이고 있다.
