VISCOM社의 3D AOI 검사기(제품명, S3088 Ultra)는 3D 검사를 위한 기술인 XM Sensor를 장착했다.
8개의 앵글카메라가 하나로 구성되어 있는 XM Sensor 모듈은 검사 시 8개의 카메라가 획득한 이미지를 이용하여 최적의 3D를 구현한다.
또한 보다 넓어진 FOV로 기존 장비보다 2배 이상 빠른 속도를 자랑하며, 높아진 해상도(Microscopic resolution)로 소형 칩 검사에도 적합하다.
임재덕 기자(smted@hellot.mediaon.co.kr)