SMC코리아가 개발한 고진공 L형 밸브 ‘XLA 시리즈’는 알루미늄 몸체를 채용해 열전도율이 좋고, 몸체 전체가 균일한 온도가 되어 생성물의 부착을 격감한다.
또한 경량·콤팩트로 불소에 대한 내식성이 뛰어나며 아웃 가스가 적기 때문에 적은 펌프 능력으로 작업이 가능하다.
뿐만 아니라 벨로스 Ass'y로 교환이 가능하여 유지보수 비용도 줄일 수 있다.
임근난 기자 (fa@hellot.mediaon.co.kr)
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